세정의 필요

세정이란?

장비의 Shield 역할을 하는 부품들은 주기적으로 노출된 부위의 Depo된 오염막층을 제거하여 사용전의 원상태로 돌려주는 Recycle 세정작업이 필요하다.
Depo막을 제거하기 위해서는 모재와 반응이 일어나지 않으나 Depo막과 반응이 일어나는 약품을 이용하던지, 물리적인 힘을 이용하여 모재와 낮은 밀착력으로 결합된 막층을 제거하는 작업이 필요한데, 이와같은 공정을 세정(Cleaning)작업이라고 한다.