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Plasma Nano Coating

고 진공분위기에서 높은 에너지를 가진 Plasma 이온입자를 이용하여, 제품 상부면에 수㎚~수십㎛의 증착막을 형성시켜는 PVD 진공증착방식으로, 각종 금속과 합금 및 세라믹등의 다양한 재료의 코팅이 가능하다.

Plasma Nano Coating
Item Plasma Nano Ncoating 비고
Thermal shock 4? 이상 모재 조도의 영향을 받음
Porosity (%) 0.2% 미만
Hardness(Hv) - 연필경도 9H에서 표면 Scratch 미발생
Adhesion(MPa) 19.9 Mpa 이상 본딩재 박리값 (용사층 16.1Mpa)
Volume resistance 3um(260V,11mA) 6um(330V,11mA)
Color 반투명 Yellow ~10㎛ : 투명
15㎛~ : 엷은 Yellow
Plasma resistance Good Y2O3용사코팅 비교 1.4배 높음
Coating thickness 수nm ~ 20㎛ Nm단위두께 제어가능
Thermal shock ~ 850℃ 850℃까지 테스트완료
PNC
PNC
구분 용사코팅 PN코팅 비고
기공율(%) 4% 0.2% 미만 ※ 기공율이 낮을수록 耐Plasma에 강함
Micro Crack 有 無 ※ Micro Crack이 낮을수록 Particle 발생이 적음
조도 (Ra) ㎛ 단위 Nano 단위
밀착력(kg/㎠) 165 203 이상(본딩재박리) ※ 측정기준 JIS H 8666
Shield 기능 양호 완전차단