ESC Product Type
| Mono-Polar | Bi-Polar |
|---|---|
| Normal Lower Electrode (1G~11G) |
Bi-Polar ESC (1~8G) |
| ESC Lower Electrode (1G~11G) |
Sputter 장비 ESC |
| High Power ESC Lower Electrode | 증착 장비 ESC |
| LTPS ESC Lower Electrode | Carrier ESC |
| ECCP ESC | 고온용 ESC |
| High Temp’ ESC (SUS) | CoolingPlate ESC |
ESC GLASS Size
Glass 제품의 사이즈에 따라, 1세대부터 11세대등으로 구분하여 불리우며, Glass 제작용 전극판도 동일한 이름으로 불리운다.(ex. 8세대 전극판)
따라서, Glass의 사이즈가 커지면 커질수록 Glass를 고정시켜주는 전극의 크기도 커지고, 이를 위해 보다 정밀하고 높은 유전특성을 가진 전극을 필요로 하고 있다.
구미본사
주소 : (730-400) 경상북도 구미시 4공단로7길 39 (구포동) 대표전화 : 054-473-8968~70 팩스 : 054-471-4781 이메일 : kstgumi@kst1.co.kr
구미2공장
주소 : (730-400)경상북도 구미시 4공단로 161-16(구포동)
구미3공장
주소 : (730-400)경상북도 구미시 4공단로 7길 53-9(구포동) COPYRIGHT (C) 2013 KOREA STAR TECH CO,.LTD. ALL RIGHTS RESERVED.
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