우리가 만드는 깨끗한 세상! welcome to KOREA STAR TECH

Product

ESC Product Type

ESC Product Type
Mono-Polar Bi-Polar
Normal Lower Electrode
(1G~11G)
Bi-Polar ESC
(1~8G)
ESC Lower Electrode
(1G~11G)
Sputter 장비 ESCf
High Power ESC Lower Electrode 증착 장비 ESC
LTPS ESC Lower Electrode Carrier ESC
ECCP ESC 고온용 ESC
High Temp’ ESC (SUS) CoolingPlate ESC

ESC GLASS Size

디스플레이 세대별 원장 크기 비교

Glass 제품의 사이즈에 따라, 1세대부터 11세대등으로 구분하여 불리우며, Glass 제작용 전극판도 동일한 이름으로 불리운다.(ex. 8세대 전극판)
따라서, Glass의 사이즈가 커지면 커질수록 Glass를 고정시켜주는 전극의 크기도 커지고, 이를 위해 보다 정밀하고 높은 유전특성을 가진 전극을 필요로 하고 있다.