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설계 및 제작

Design Technology

  • ESC Electrode Design Technology (Performance)
    • LCD 1G ~ 10.5G ESC Electrode Design
      (About 30 Model)
    • High Power / High Temp’ ESC(Al, SUS) Design
      (4.5G, 5.5G, 6G, 8G)
    • ECCP / ICP ESC (Al, SUS) Design
      (6G, 8G)
    • Direct Cooling ESC(Al, Ti) Design
      (6GH, 8G)
Design Technology

Specialized Technology

  • Emboss 제작기술
    → Emboss 최소 Ø0.3, Pitch 최소 1.0㎜ 구현기술
  • 6GH / 8GH / 8G Bi-Polar ESC 세계최초 개발, 양산
  • 평탄도 제어기술 ? 8G 세라믹 ESC 평탄도 60㎛ 이하 관리
  • Patterning 기술 - 20gf/㎠ 이상 C/F 향상기술
  • 소재 개발 - High Resolution use Powder
  • 소결 Ceramics DC Port making & 체결 기술
  • 특수 실링제 및 공법 개발 - 내전압 보강용 실링제
Specialized Technology

Production Capacity

  • LCD용 ESC 제작 세계 수준의 안정된 품질 확보
    (Defective 5% 이하)
  • 대면적 연마가공 기술 확보
    (세라믹 표면 가공 평탄도 10㎛ 수준)
  • 대면적 Plasma 일괄 코팅 설비 (3500 X 4500mm) 국내최대보유
  • 1000 Class Clean room(150평)
    (대형/중량물 Vacuum Oven, 3D Inspection, Packing)
  • Recycling 가능한 설비 보유 (세정, 용사층 제거, 수리, 제작등)
Production Capacity