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설계 및 제작

Design Technology

  • ESC Electrode Design Technology (Performance)
    • LCD 1G ~ 8G ESC Electrode Design
      (About 30 Model)
    • High Power ESC(SUS, Al) Design
      (2G, 4.5G, 5.5G)
    • High Temperature ESC(SUS) Design
      (2G, 4.5G, 5.5G)
Design Technology

Patent & Specialized Technology

  • Electrostatic Chuck reproducing method of TFT
    fabrication equipment (Patent 10-0908227)
  • Large size Electrostatic Chuck and manufacturing
    method thereof (Patent 10-1189815)
  • Lower Electrode Emboss Pattern 무한변경 MASK
    (Utility Model 20-0452471)
  • 소결 Ceramics DC Port making (Patent Application) & 체결 기술
  • High Resolution use Powder 소재 개발 완료 (Patent Application)
  • Plasma Coating의 내전압 보강 필수재인 우수한 실링제 개발
Patent & Specialized Technology

Production Capacity

  • LCD용 ESC 제작 세계 수준의 안정된 품질 확보
    (Defective 5% 이하)
  • 대면적 연마가공 기술 확보
    (세라믹 표면 가공 평탄도 10㎛ 수준)
  • 대면적 Plasma 일괄 코팅 설비 (3500 X 4500mm) 국내최대보유
  • 1000 Class Clean room(150평)
    (대형/중량물 Vacuum Oven, 3D Inspection, Packing)
  • Recycling 가능한 설비 보유 (세정, 용사층 제거, 수리, 제작등)
Production Capacity