특허

Patent Registration (특허)

• 패턴공정의 모재 지지용 지그 세정방법과 그 세정장치
• 박막 트랜지스터 제조장비의 전극판 재생방법
• 다층 박막코팅용 타겟장치
• 대면적 정전 척 및 이의 제조방법
• 피드스루의 제조방법

Utility Model Registration (실용신안)

• 전공정이 일괄수행되는 용사장치
• 엠보싱 지그