우리가 만드는 깨끗한 세상! welcome to KOREA STAR TECH

원리

두 금속판을 마주본 상태에서 전압을 가하게 되면 + 전극판에는 + 전하를, - 전극판에는 - 전하를 띠게 된다.
이때, 대전된 두 평행판 사이에는 두 전하에 의한 끌어당기는 인력이 발생하며, 이를 정전력(Electrostatic Force)이라 한다.
ESC(Electro Static Chuck)란, 진공상태에서 제품(Glass)을 정전기의 힘만으로 고정시켜주는 핵심부품이다.

원리

전극의 개수에 따라 Mono-Polar와 Bi-Polar ESC로 구분된다.
원리