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ESC란

생산품
세대별 규격 품명 사진
2G 510*510 ESC전극
(SUS)		 1G 사진
4.5G 970*780 ESC 전극
(고온전극)		 4.5G 사진
5G 1325*1125 단층 전극
ESC 전극		 5G 사진
5.5G 1592*1392 ESC 전극 5.5G 사진
6G 1920*1570 단층 전극
ESC 전극		 6G 사진
7G 2270*1990 ESC 전극 7G 사진
8G 2627*2327 ESC 전극 8G 사진
생산품 사진

Glass 제품의 사이즈에 따라, 1세대부터 8세대등으로 구분하여 불리우며, Glass 제작용 전극판도 동일한 이름으로 불리운다.(ex. 8세대 전극판)
따라서, Glass의 사이즈가 커지면 커질수록 Glass를 고정시켜주는 전극의 크기도 커지고, 이를 위해 보다 정밀하고 높은 유전특성을 가진 전극을 필요로 하고 있다.