ESC란

ESC 종류

ESC는 전극의 개수에 따라, Mono polar type과 Bi-polar type등으로 구분된다.
일반적으로 Jonsen-Rahbek 타입은 정전척 유전층의 저항율이 109~1013Ω의 값을 가지며,
1015Ω이상인 경우 Coulomb 타입으로 구분한다.

ESC 종류

구분	Mono-Polar	Bi-Polar
특징	ESC에 (+), 챔버內 (-)전하로 Glass 척킹	ESC에 (+)(-) 양극성 전기인가 척킹품에 별도 전기인가 없음
장점	High Chucking Force He gas로 척킹물의 냉각 가능	대기~진공등 사용환경 제한이 없음 대기중 C/F & 전기검사 가능
적용	TFT DRY ETCHER 공정, Inbar-sheet Chuck	TFT SPUTTER & OLED RGB 증착공정등
모양